โ ๊ธฐ๊ฐํ๋ ์ค์ ๊ทน๋ณต๊ณผ์
๊ธฐ๊ฐ ํ๋ ์ค ์์คํ
์ ๊ตฌ์ฑ์ ์ํ ๋ง๋ํ ํฌ์๋น ๋ฌธ์ ๋ฐ ๊ธฐ์กด ์์ฐ ์ธํ๋ผ์์ ์ถฉ๋๋ก ์ธํ์ฌ ๊ธฐ์กด ์๋์ฐจ ํ์ฌ, ๋ํ ๋ค์ด์บ์คํ
ํ์ฌ์์ ๋น ๋ฅด๊ฒ ๋์
ํ๊ธฐ์๋ ํ๊ณ๊ฐ ์๋ค๋ ๊ฒ์ด ์ฌ์ค์ด๋ค. ํ
์ฌ๋ผ๋ ์ค๊ตญ ์๋์ฐจ ํ์ฌ๋ค๊ณผ ๊ฐ์ด ๊ธฐ์กด ๊ณต์ฅ ๋ฐ ๋ํ ๋ค์ด์บ์คํ
์์คํ
์ด ์๋ ์ํฉ์์๋ ์๋ก์ด ๊ณต์ฅ์ ์ค๋ฆฝํ๊ณ ์ด๋ํ ๊ธฐ๊ฐํ๋ ์ค ์์คํ
์ ๋์
ํ๋๋ฐ ์๋์ ์ผ๋ก ์ ๋ฆฌํ ์กฐ๊ฑด์ด์ง๋ง, ์ด์ ๋ฌ๋ฆฌ ์ค๋ซ๋์ ์๋์ฐจ๋ฅผ ์์ฐํด ์๋ ์์ฑ์ฐจ ํ์ฌ๋ค์ ๊ฒฝ์ฐ์๋ ๊ธฐ์กด ๋ํ ์์ฐ์์ค / ๊ณต์ฅ์ ์ ์ง ์ํ์์ ๋๊ท๋ชจ์ ํ๋ํธ๋ฅผ ์กฐ์ฑํ๋๋ฐ ๋ง์ ์ ์ฝ์ด ์์ ์ ๋ฐ์ ์๋ค.
๋ํ ์ด๋ํ ๊ธํ์ ์ ์๋น์ฉ ๋ฌธ์ ๋ก ์ธํ์ฌ ์๋์ฐจ ๋ถํ์ ํน์ฑ์ ์์๋ก ๋ฐ์ํ ์ ๋ฐ์ ์๋ ์ค๊ณ๋ณ๊ฒฝ๋ฑ์ ๋น ๋ฅด๊ฒ ๋์ํ ์ ์๊ณ , ๊ณ ๊ฐ๋ค์ ์๊ตฌ์ ๋ง์ถฐ ์ ๋ชจ๋ธ์ ์์ฃผ ๊ฐ๋ฐํ๋๋ฐ ์ ์ฝ์ด ์์ ์ ๋ฐ์ ์๋ค. ๋ํ ์์ฐ๊ธฐ์ ์ ๋ฐ์ ์ผ๋ก ๊ธฐ๊ฐํ๋ ์ค๋ฅผ ์ ์ฉํ์ง ์๊ณ ๋ ๊ธฐ๊ฐํ๋ ์ค ์ ํ๊ณผ ๊ฒฝ์๋ ฅ์ ํ๋ณดํ ์ ์๋ ์๋์ฐจ๋ค์ด ์ง์์ ์ผ๋ก ๊ธฐ์กด ์๋์ฐจ ํ์ฌ์์ ์ถ์๋ฅผ ํ๋ฉด์ โ๊ธฐ๊ฐํ๋ ์ค์ ๊ฐ๊ฒฉ๊ฒฝ์๋ ฅ ํ๋ณด๊ฐ ์ง์ ๊ฐ๋ฅํ ๊ฒฝ์๋ ฅ์ธ๊ฐ?โ ๋ผ๋๋ฐ ์๋ฌธ์ ์ด ์๊ธฐ๊ณ ์๋ค.
์ต๊ทผ ํ
์ฌ๋ผ ์ฐจ๋ ์ฌ๊ณ ๋ถ์ ์ ๋ณผํธ ๋น ์ง ๋ฌธ์ ์ ๋ํด์ ์ผ์ฒดํ ์ ํ ์์ฐ์ผ๋ก ์ธํ ์ ํ ๋ถ์๋ณ ํ์ง ๋ถ์์ ์ด ์ ๊ธฐ ๋๋ ๋ฑ ์ด๋ํ ์ ํ์ ๋ํ ํ์ง ๋ถ์๋ณ ์ ๋ขฐ์ฑ ํ๋ณด๋ ๊ธฐ๊ฐํ๋ ์ค๊ฐ ๊ทน๋ณตํด์ผ ํ ์ฌํญ์ด๋ค. ๋ํ ์ฐจ๋ ์ฌ๊ณ ์ ์ผ์ฒดํ ๋ถํ์ ๋ํ ๊ต์ฒด ๋ฐฉ๋ฒ ๋ฐ ๋น์ฉ ๋ฌธ์ ๋ ์์ง ๋๋ ทํ ํด๊ฒฐ๋ฐฉ์์ด ์ ์๋์ง ๋ชปํ๋ ์ ์ ๊ธฐ๊ฐํ๋ ์ค์ ํ๋์ ์ฉ ์๊ธฐ์ ๋ํ ๋ง์ ์ ์ฝ์ด ๋จ์ ์์์ ์๋ฏธ ํ๋ค.
โ ์ค์ ๋ค์ด์บ์คํ
์
๊ณ์ ๋ฏธ๋์ฐจ ๋์ ์ ๋ต
1. ์ฉํ๊ด๋ฆฌ๋ฅผ ๊ฐํ ํ์ฌ์ผ ํ๋ค
๊ธฐ์กด์ ๊ณ ์์ฃผ์กฐ ๊ณต๋ฒ์์๋ ์ฉํ๋ด ์์๊ฐ์ค๊ฐ ๋ฏผ๊ฐํ ๋ฌธ์ ๋ก ์ธ์๋์ง ์์๋ค. ์ค๋ ์๋์ฐจ ๋ถํ์ ์ด์ ์ด๋ ฅ์ผ๋ก ์ฌ์ฉ์ ์ธก์์๋ ํฉ๋ฆฌ์ ์ธ ์์ค์ ํ์ง๊ด๋ฆฌ ๊ธฐ์ค์ ์ ์ ํ์๊ณ ๊ทธ๋ฌํ ์ ๋์ ํ์ง์ ๊ณ ์์ฃผ์กฐ ๊ณต๋ฒ์ผ๋ก๋ ์์๊ฐ์ค์ ํจ์ ๋๊ณผ ๊ด๊ณ์์ด ๋ง์กฑ ์ํฌ ์ ์์๋ค. ํ์ง๋ง ๋ฏธ๋์ฐจ(์ ๊ธฐ์ฐจ) ๋ถํ์ ์์ฐ์ด ์์๋๋ฉด์ ์ ํ์ ๊ฐ๋(Strength)์ ๋๋ถ์ด ์ฐ์ ์จ(Elongation)์ด ๋งค์ฐ ์ค์ํ ํ์ง ๊ด๋ฆฌ์์๋ก ๋ฑ์ฅ ํ์๊ณ , ๊ตฌ์กฐ์ฌ ๋ฐ ์ธ๋ฒํฐ ์ผ์ด์ค ๋ฑ๊ณผ ๊ฐ์ด ์ด์ฒ๋ฆฌ ๋ฐ ์ฉ์ ์ด ํ์ํ ์ ํ ๊ฐ๋ฐ์ด ํ๋ฐํด ์ง๊ณ ์๋ค.
๊ทธ๋ฆฌ๊ณ ์ ๊ธฐ์ฐจ์ ๊ฒฝ์ฐ ์ฐจ๋ํ์ฌ์ ์ดํญ์ฃผ๋ก ์ธํ ์์ ๋ฌธ์ ๊ฐ ์ฌ๊ฐํ๊ฒ ๋๋ ๋๋ฉด์ ๋๊ฐ์ ๋์ค ๋ฐฉ์ง๋ฅผ ์ํ์ฌ ๊ธฐํฌ ๋ฐ ์ด๋ฌผ์ง๋ฑ์ ๊ด๋ฆฌ ๊ธฐ์ค์ด โ๋ฌด๊ฒฐ์ โ์ผ๋ก ๊น์ง ์๊ตฌ ๋๊ณ ์๋ค. ์ฆ ๊ธฐ์กด์ ๊ด๋ฆฌ๊ธฐ์ค์์๋ ํ์ฉ๋๋ ๋ฏธ์ธ๊ธฐํฌ์กฐ์ฐจ๋ ๋ถ๋์ผ๋ก ํ์ ๋๋ฉด์ ๋ฏธ์ธ๊ธฐํฌ(Micro Porosity, Pin Hole)๋ฅผ ๊ด๋ฆฌํ๊ธฐ ์ํ ์ฉํ๋ด ์์๊ฐ์ค ํจ๋ ๊ด๋ฆฌ ๋ฐ ์ฐ์ ์จ์ ์น๋ช
์ ์ธ ์ญํ ์ ํ๋ ์ฉํ๋ด ์ด๋ฌผ์ง ๊ด๋ฆฌ๊ฐ ํต์ฌ ์์๋ก ๋ถ๊ฐ๋๊ณ ์๋ค.
๊ฐ์ฅ ์์ ์ ์ผ๋ก ๊ฐ์ค์ ๊ฑฐ๋ฅผ ํ ์ ์๋ GBF์ฅ์น๋ฅผ ๋์
ํ๊ฑฐ๋, ๋น์ฅ ๋์
์ ์ฌ๋ ฅ์ด ๋์ง ์๋๋ค๋ฉด ํฌ๋ฌ์คํ๋ฌ๊ทธ(Porous Plug) ๋ฐฉ์๋ฑ์ ์ ๋น์ฉ์ ๋์ฒด ๋ฐฉ๋ฒ์ ์ด์ฉํ์ฌ์๋ผ๋ ์์๊ฐ์ค ๋ฐ ์ด๋ฌผ์ง ๊ด๋ฆฌ ์์คํ
์ ์กฐ๊ธฐ์ ์ ์ฐฉํ์ฌ ์ฉํ ํ์ง์ ์์ ํ ํ๋ ๊ฒ์ด ์ค์ํ๋ค.
2. ์ง๊ณต์ ์ฌ์ฉํ์ฌ์ผ ํ๋ค
๊ณผ๊ฑฐ์ฐจ์ ๊ฐ์ ํ์ง๊ธฐ์ค(Micro Porosityํ์ฉ, ์ผ๋ถ ๋ถ์๋ณ Macro Porosityํ์ฉ)์ ๋ฏธ๋์ฐจ์ ๊ฐํ๋ ํ์ง๊ธฐ์ค์์๋ ๋ ์ด์ ํ์ฉ์ด ๋์ง ์์ ๊ฒ์ผ๋ก ํ์ง ๊ณํ์ ํ์ฌ์ผ ํ๋ค. ์ง๊ณต์ฅ์น๋ ํ ์์ ์์ ๊ฐ์ฅ ํจ๊ณผ์ ์ผ๋ก ๊ธฐํฌ์ ๋ฐ์์ ์ต์ ํ ์ ์๋ ์ฅ์น์ด๊ณ ํนํ ์ฅ๊ธฐ์ ์ผ๋ก๋ ๊ณ ์ง๊ณต์์คํ
(50mbar์ดํ ์ง๊ณต๋ ํ๋ณด)๋ฅผ ๋ชฉํ๋ก ํ์ฌ์ผ ํ์ง๋ง ๋น์ฅ์ ๊ณ ์ง๊ณต ์์คํ
์ ๋์
ํ๋๋ฐ ์ด๋ ค์์ด ์๋ค๋ฉด ์์ฐจ์ ์ผ๋ก ๊ธํ๋ถํ ๋ฉด์ ๋ค์ด์ค๋ง(Die Sealing)์ ์ ์ฉํ์ฌ ์ง๊ณตํจ๊ณผ๋ฅผ ๊ทน๋ํ ์ํค๋ ๊ฐ์ ์ ์งํ ํ์ฌ์ผ ํ๋ค. ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ ์์ง๋์ด๋ค์ ์ง๊ณต์ฅ์น๋ณ ํน์ฑ ๋ฐ ์๋ฆฌ์ ๋ํ ํ์ต์ ์ถฉ์คํ๊ฒ ํ์ฌ ์ง๊ณตํจ๊ณผ์ ์ ์ง ์ ๋ขฐ์ฑ์ ํ๋ณดํ ์ ์๋๋ก ๊ณต์ ๊ด๋ฆฌ๋ฅผ ํ์ฌ์ผ ํ๋ค.
3. ๋ณ๊ฒฝ์ ๊ด๋ฆฌ๋ฅผ ํ์ฌ์ผ ํ๋ค
ํ์ง๊ด๋ฆฌ์ ์์๊ณผ ๋์ ๋ณ๊ฒฝ์ ๊ด๋ฆฌ๋ผ๊ณ ํ ์ ์๋ค. ๊ธํ ์์ ์ ๋ํ ์ด๋ ฅ์ ๋๋ถ๋ถ ํ์ฌ์์ ๊ธฐ๋ก์ ์ ์งํ๊ณ ์์ง๋ง ๊ทธ ์ธ 4M๊ด๋ จ ์ฌ์ํ ๋ณ๊ฒฝ๋ด์ฉ์ ๊ธฐ๋ก๋ฌผ์ ํ๋ณด๊ฐ ๋์ง ๋ชปํ๊ณ ์๋ ์ค์ ์ด๋ค.
ํนํ ๋ค์ด์บ์คํ
๊ณต์ฅ์ ํน์ฑ์ ์ธ๊ตญ์ธ ์์
์์ ๋น์จ์ด ๋์ด๋๊ณ ์๋๋ฐ ์ด๋ก ์ธํ์ฌ ๋์ฑ ํ์ฅ์ ์ฌ์ํ ๋ณ๊ฒฝ์ ์ ๊ธฐ๋ก์ด ๋์ฑ ์งํ๋์ง ๋ชปํ๊ณ ์๋ค. ๋ณ๊ฒฝ์ ๊ธฐ๋ก์ ํ์์ฑ, ์ค์์ฑ์ ๋ฏธ๋์ฐจ ํนํ ์ ๊ธฐ์ฐจ์ ํ์ฌ๋ฑ ๊ณผ๊ฑฐ์ฐจ ์์ฐ์์์๋ ๊ฒฝํํ์ง ๋ชปํ์๋ ๋ฌธ์ ๋ฐ์์ ๋ฐ์์์ธ์ ์ถ์ , ๊ท์ฑ
์ ๋ํ ๋ถ์ ๋์, ์ฌ๋ฐ๋ฐฉ์ง ๋ฑ์ ํ๋์ ๊ทธ ์ค์์ฑ์ด ๋์ฑ ์ฆ๊ฐํ๊ณ ์๋ค. ๊ฐ ์ด์์๋ ์ธ๊ตญ์ธ ์์
์๋ฅผ ํฌํจํ ์ ์ฌ์ ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ ์คํจ์ฑ์๋ ๋ณ๊ฒฝ์ ๊ด๋ฆฌ ์์คํ
๋์
์ ํ์ฌ์ผ ํ๋ค.
์๋ช
์ฒ ์๋์ฐจ๋ถํ์ฐ์
์งํฅ์ฌ๋จ ์ ๋ฌธ์์